湖南师范大学 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||
物电院高性能电子束曝光系统 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||
单一来源采购公示 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||
| 公示日期： *** 1日?? | ||||||||||||||||||||||||||||||||||
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采购人的物电院高性能电子束曝光系统拟进行单一来源采购，现将有关事项公告如下： | ||||||||||||||||||||||||||||||||||
一、采购项目名称：湖南师范大学物电院高性能电子束曝光系统。 预算金额：￥ 11,730,000.00 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||
二、拟采购货物或者服务的说明 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||
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三、拟定单一来源采购供应商的名称、地址 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||
1.名称：捷欧路（北京）科贸有限公司 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||
2.地址：北京 北京 西城 阜外大街2号万通新世界广场B座1110 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||
四、采购人采用单一来源采购方式的原因及说明 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||
目前，湖南省内没有100KV电子束曝光系统。日本JEOL公司JBX-8100FS为高性能电子束曝光系统，拥有100KV加速电压，最高扫描速率125MHz，最大写场1mm*1mm，写场拼接精度和套刻精度优于±20nm；采用100μm*100μm写场时，拼接精度和套刻精度均优于±9nm；最小线宽可以优于8nm；包含真空原味预对准光学显微镜系统，避免电子束扫描照射光刻胶造成曝光，可在大视野中检查样品上的图案，通过购买JEOL JBX-8100FS,完善湖南省超导量子器件和声学芯片制备工艺线。。 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||
五、第三方专家对供应商专利、专有技术等唯一性论证的意见 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||
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六、公示期限：自 *** 至 *** 止 ，共计5个工作日。任何供应商、单位或个人对采用单一来源方式公示有异议的，可以向采购人以书面形式实名反映，并抄报监管部门。 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||
七、采购人名称、联系人和联系方式 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||
1、采购人名称：湖南师范大学 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||
??????地址： | ||||||||||||||||||||||||||||||||||
??????联系人：采购人肖华 | 联系电话：073188872366 | |||||||||||||||||||||||||||||||||
2、监管部门名称： 湖南省财政厅政府采购处 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||
??????地址：长沙市城南西路一号 | 联系电话：85165243 | |||||||||||||||||||||||||||||||||
??本公告期限不得少于5个工作日 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||